НОВОСТИ
03/05/2012

ОАО "Гиредмет" приняло участие в выставке «Высокие технологии XXI века», которая  прошла в период с 17 по 19 апреля в ЦВК «Экспоцентр» в павильоне 7 залы 3, 4, 5 в рамках крупномасштабного выставочного проекта Неделя «Россия инновационная».

26/04/2012

С февраля по апрель 2012 года ГК «Росатом» совместно с Корпоративной академией проводил новый уникальный проект Турнир молодых профессионалов атомной отрасли ТеМП 2012.

 

Мишени магнетронного распыления

Мишени магнетронного распыления используются в качестве катодов при нанесении покрытий (пленок) в виде металлов и их соединения – оксидов, нитридов, карбидов, силицидов.

 

В технологии нанесения пленок выделяют следующие основные категории слоев:
 проводящие слои и контакты: Al, Ti, Mo, Cr, Co, а также сплавы: Al-Si (0,5-2%), Al-Cu (0,5-4%), Al-Ti (1,5%), AlCuTi, AlSiTi, AlSiCu,
 барьерные слои: Ti, Mo, Ta, TiW (10%) и их сочетания с азотом, которые обычно формируются реактивным распылением,
 разистивные слои: Ta, AlTa, CrSiO и другие, которые, в основном, изготавливаются методом порошковой металлургии.
 

 

Институтом Гиредмет разработаны уникальные технологии получения сплавов для мишеней магнетронного распыления, позволяющие выдерживать точное соотношение высокочистых исходных материалов.

Институт предлагает поставку партий мишеней для магнетронного распыления.